4-дюймова напівізоляційна двостороння полірована вафельна підкладка HPSI SiC високої чистоти

Короткий опис:

4-дюймові напівізоляційні (HPSI) SiC двосторонні поліровані вафельні підкладки Semicera розроблені високою точністю для забезпечення чудових електронних характеристик. Ці пластини забезпечують відмінну теплопровідність і електричну ізоляцію, що ідеально підходить для передових напівпровідникових застосувань. Довіртеся Semicera за неперевершену якість та інновації в технології пластин.


Деталі продукту

Теги товарів

4-дюймові напівізоляційні (HPSI) SiC двосторонні поліровані вафельні підкладки Semicera виготовлені відповідно до високих вимог напівпровідникової промисловості. Ці підкладки розроблені з винятковою площинністю та чистотою, пропонуючи оптимальну платформу для найсучасніших електронних пристроїв.

Ці пластини HPSI SiC відрізняються чудовою теплопровідністю та електроізоляційними властивостями, що робить їх чудовим вибором для високочастотних і потужних застосувань. Процес двостороннього полірування забезпечує мінімальну шорсткість поверхні, що має вирішальне значення для підвищення продуктивності та довговічності пристрою.

Висока чистота пластин SiC Semicera зводить до мінімуму дефекти та домішки, що призводить до вищих показників продуктивності та надійності пристрою. Ці підкладки підходять для широкого спектру застосувань, включаючи мікрохвильові пристрої, силову електроніку та світлодіодні технології, де важливі точність і довговічність.

Орієнтуючись на інновації та якість, Semicera використовує передові технології виробництва для виробництва пластин, які відповідають суворим вимогам сучасної електроніки. Двостороннє полірування не тільки покращує механічну міцність, але й сприяє кращій інтеграції з іншими напівпровідниковими матеріалами.

Вибираючи 4-дюймові напівізоляційні двосторонні поліровані вафельні підкладки HPSI SiC високої чистоти Semicera, виробники можуть використовувати переваги покращеного керування температурою та електричної ізоляції, прокладаючи шлях для розробки більш ефективних і потужних електронних пристроїв. Semicera продовжує лідирувати в галузі завдяки своїй відданості якості та технологічному прогресу.

Предмети

виробництво

дослідження

манекен

Параметри кристала

Політип

4H

Помилка орієнтації поверхні

<11-20 >4±0,15°

Електричні параметри

Допант

Азот n-типу

Питомий опір

0,015-0,025 Ом·см

Механічні параметри

Діаметр

150,0±0,2 мм

Товщина

350±25 мкм

Первинна плоска орієнтація

[1-100]±5°

Первинна плоска довжина

47,5±1,5 мм

Вторинна квартира

жодного

TTV

≤5 мкм

≤10 мкм

≤15 мкм

LTV

≤3 мкм (5 мм * 5 мм)

≤5 мкм (5 мм * 5 мм)

≤10 мкм (5 мм * 5 мм)

Лук

-15 мкм ~ 15 мкм

-35 мкм ~ 35 мкм

-45 мкм ~ 45 мкм

Деформація

≤35 мкм

≤45 мкм

≤55 мкм

Шорсткість передньої (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Структура

Щільність мікротрубки

<1 шт./см2

<10 шт./см2

<15 шт./см2

Металеві домішки

≤5E10атомів/см2

NA

BPD

≤1500 еа/см2

≤3000 еа/см2

NA

ТСД

≤500 еа/см2

≤1000 еа/см2

NA

Передня якість

Фронт

Si

Оздоблення поверхні

Si-face CMP

частинки

≤60 шт./вафля (розмір ≥0,3 мкм)

NA

Подряпини

≤5ea/мм. Сукупна довжина ≤діаметра

Сукупна довжина≤2*Діаметр

NA

Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення

жодного

NA

Сколи/відступи/зломи/шестигранні пластини

жодного

Політипні області

жодного

Сукупна площа≤20%

Сукупна площа≤30%

Переднє лазерне маркування

жодного

Якість задньої частини

Задня обробка

C-грань CMP

Подряпини

≤5ea/мм, сукупна довжина≤2*діаметр

NA

Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях)

жодного

Шорсткість спини

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Лазерне маркування спини

1 мм (від верхнього краю)

Край

Край

Фаска

Упаковка

Упаковка

Epi-ready з вакуумною упаковкою

Упаковка мультивафельної касети

*Примітки: "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD.

тех_1_2_розм
SiC пластини

  • Попередній:
  • далі: