Злитки SiC N-типу Semicera 4", 6" і 8" являють собою прорив у напівпровідникових матеріалах, розроблених для задоволення зростаючих вимог сучасних електронних і енергетичних систем. Ці злитки забезпечують міцну та стабільну основу для різноманітних напівпровідникових застосувань, забезпечуючи оптимальну продуктивність і довговічність.
Наші злитки SiC N-типу виробляються з використанням передових виробничих процесів, які підвищують їх електропровідність і термічну стабільність. Це робить їх ідеальними для потужних і високочастотних додатків, таких як інвертори, транзистори та інші силові електронні пристрої, де ефективність і надійність є найважливішими.
Точне легування цих зливків гарантує, що вони пропонують постійну та повторювану продуктивність. Ця узгодженість є надзвичайно важливою для розробників і виробників, які розширюють межі технологій у таких галузях, як авіакосмічна, автомобільна та телекомунікаційна промисловість. Злитки SiC від Semicera дозволяють виготовляти пристрої, які ефективно працюють в екстремальних умовах.
Вибір злитків SiC N-типу Semicera означає інтеграцію матеріалів, які можуть легко витримувати високі температури та високі електричні навантаження. Ці злитки особливо підходять для створення компонентів, які вимагають чудового керування температурою та роботи на високих частотах, таких як радіочастотні підсилювачі та модулі живлення.
Вибираючи злитки SiC N-типу Semicera 4", 6" та 8", ви інвестуєте в продукт, який поєднує виняткові властивості матеріалу з точністю та надійністю, яких вимагають передові напівпровідникові технології. Semicera продовжує лідирувати в галузі за надання інноваційних рішень, які сприяють розвитку виробництва електронних пристроїв.
| Предмети | виробництво | дослідження | манекен |
| Параметри кристала | |||
| Політип | 4H | ||
| Помилка орієнтації поверхні | <11-20 >4±0,15° | ||
| Електричні параметри | |||
| Допант | Азот n-типу | ||
| Питомий опір | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механічні параметри | |||
| Діаметр | 150,0±0,2 мм | ||
| Товщина | 350±25 мкм | ||
| Первинна плоска орієнтація | [1-100]±5° | ||
| Первинна плоска довжина | 47,5±1,5 мм | ||
| Вторинна квартира | Жодного | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤5 мкм (5 мм * 5 мм) | ≤10 мкм (5 мм * 5 мм) |
| Лук | -15 мкм ~ 15 мкм | -35 мкм ~ 35 мкм | -45 мкм ~ 45 мкм |
| Деформація | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Шорсткість передньої (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Структура | |||
| Щільність мікротрубки | <1 шт./см2 | <10 шт./см2 | <15 шт./см2 |
| Металеві домішки | ≤5E10атомів/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 еа/см2 | ≤3000 еа/см2 | NA |
| ТСД | ≤500 еа/см2 | ≤1000 еа/см2 | NA |
| Передня якість | |||
| Фронт | Si | ||
| Оздоблення поверхні | Si-face CMP | ||
| частинки | ≤60 шт./вафля (розмір ≥0,3 мкм) | NA | |
| Подряпини | ≤5ea/мм. Сукупна довжина ≤діаметра | Сукупна довжина≤2*Діаметр | NA |
| Апельсинова кірка/ямки/плями/смуги/тріщини/забруднення | Жодного | NA | |
| Сколи/відступи/зломи/шестигранні пластини | Жодного | ||
| Політипні області | Жодного | Сукупна площа≤20% | Сукупна площа≤30% |
| Переднє лазерне маркування | Жодного | ||
| Якість задньої частини | |||
| Задня обробка | C-грань CMP | ||
| Подряпини | ≤5ea/мм, сукупна довжина≤2*діаметр | NA | |
| Дефекти задньої частини (сколи/відступи на краях) | Жодного | ||
| Шорсткість спини | Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) | ||
| Лазерне маркування спини | 1 мм (від верхнього краю) | ||
| Край | |||
| Край | Фаска | ||
| Упаковка | |||
| Упаковка | Epi-ready з вакуумною упаковкою Упаковка мультивафельної касети | ||
| *Примітки: "NA" означає відсутність запиту. Незгадані елементи можуть стосуватися SEMI-STD. | |||
